| 旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机 是 继 小 弧 源 离 子 镀 膜 机 和 平 面 弧 源 离 子 镀 膜
机 之 后 发 展 起 来 的 新 一 代 多 弧 设 备，属 本 公 司 专 利 产 品，是 当 今 世 界 上 结
构 最 简 单、操 作 最 简 便 的 多 弧 离 子 镀 膜 机。
特点：
采 用 新 型 等 离 子 体 源 ── 旋 转 磁 控 柱 状 阴 极 电 弧 源。柱 弧 源 所 产 生 的 条
形 或 螺 旋 形 弧 斑 沿 柱 弧 源 全 长 分 布，沿 柱 弧 源 靶 表 面 扫 描，连 续 向 360 度 方
向 均 匀 辐 射 镀 膜，镀 膜 均 匀 区 大；
在 一 台 镀 膜 机 中 只 安 装 一 个 与 工 件 转 架 等 长 的 柱 弧 源，只 需 配 一 个 弧
电 源、一 个 引 弧 针 和 一 套 电 控 系 统，操 作 者 只 需 一 次 引 弧 操 作 便 可 实 现 整
个 转 架 的 均 匀 镀 膜。而 目 前 国 内 外 通 用 的 多 弧 离 子 镀 膜 机，为 了 实 现 整 个
工 件 转 架 的 均 匀 镀 膜 必 须 安 装 多 个 小 弧 源、配 多 个 弧 电 源、多 个 引 弧 针 和
多 个 电 控 系 统，操 作 者 需 逐 个 引 燃 弧 源 和 随 时 关 心 每 个 弧 源 的 工 作 状
况。与 之 相 比 较，旋 转 磁 控 柱 状 弧 源 多 弧 离 子 镀 膜 机 具 有 设 备 结 构 简 单、操
作 简 便、故 障 率 低、镀 膜 质 量 稳 定 等 优 点；
本 公 司 将 旋 转 磁 控 柱 状 弧 源与 平 面 弧 源、平 面 磁 控 溅 射 源、柱状 磁 控 溅
射 源 等 相 配、开 发 出 了系 列 实 用 新 型 多 弧 离 子 镀 膜机。具 有 可 以 生 产 多 层 膜、
合 金膜，通 用 性 强、装 载 量 大、生 产 效率 高 等 优 点� |
